旋转编码器、旋转马达以及旋转马达系统

摘要

本发明提供一种旋转编码器、旋转马达以及旋转马达系统，其中通过使用衍射干涉光能以提高的检测精度检测原点的位置，并利于减小尺寸以及制造等。编码器包括：圆盘形的盘（110），所述盘能绕旋转轴线旋转地布置，并且具有一个呈环形的轨迹（TC），在该轨迹上分别形成有旋转光栅，该盘具有在其一部分中形成的一个或多个原点检测区域（h）；以及以固定方式面向盘（110）设置的掩模，在所述掩模中形成有两个或更多个固定光栅，以便与所述旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统。包括在至少一个旋转光栅中的多个狭缝（SLA，SLB）沿弯曲线形成，该弯曲线是使以该旋转轴线为中心的多条放射状线以预定的曲率沿周向方向弯曲而形成的；狭缝（SLA，SLB）形成为使得狭缝（SLA，SLB）的间距（pLA，pLB）可被设定为预定的值。