一种制备肖特基结单面电极太阳能电池铝背电极的设备

摘要

本发明公开了一种制备肖特基结单面电极太阳能电池铝背电极的设备。设备包括连续式真空室、气路控制系统、电控系统、加热系统、镀膜系统、激光系统、抽气系统。其中真空室1为进片室，真空室2为缓冲室，真空室3为溅射镀铝膜室，真空室4为缓冲室，真空室5为激光掺杂室，真空室6为激光烧结室，真空室7为缓冲室，真空室8为出片室，进出片室装有可手动开关的真空门，同时可翻转进出片，缓冲室、镀膜室、激光掺杂室及激光烧结室设有预热系统。真空室之间以高真空阀门相联接，并具有可独立无级调速的传动系统。真空机组由机械泵组、废气处理装置、阀门及管道系统等组成。电控系统的PLC控制器控制气体的压强、加热温度、传动系统。