基于趋势的过程控制目标设定方法和系统

摘要

本公开涉及基于趋势的过程控制目标设定方法和系统。在过程控制环境中基于过程控制观测数据确定用于实体(例如产品)的适当目标。优选实施例在设计用于使目标设定过程自动化的层次结构中组织数据；基于该数据结构得出用于各种部件的目标判断标准；应用技术以估算(在合适的情况下)结合偏差校正技术使用基于采样数量的修整的比例；并且基于组合判断标准和用于特征化部件质量的参数的置信区域得出目标。