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被加工物保持器、金属线放电加工装置、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法

摘要

被加工物保持器10在通过来自相互隔开间隔且被并排的金属线电极2的放电来切割被加工物的金属线放电加工装置的切割加工时保持被加工物8,形成有大致无间隙地嵌入被加工物的嵌入部102,在与嵌入在嵌入部的被加工物一起进行切割加工时,呈现被加工物保持器和被加工物与金属线电极相对置的部分的沿着金属线电极的长度在被加工物的切割加工中大致固定的外形。

著录项

  • 公开/公告号CN102892539A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-01-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱电机株式会社;

    申请/专利号CN201180024128.6

  • 申请日2011-03-23

  • 分类号B23H7/02(20060101);

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人李渤

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2024-02-19 17:08:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-11-12

    授权

    授权

  • 2013-03-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):B23H7/02 申请日:20110323

    实质审查的生效

  • 2013-01-23

    公开

    公开

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