磁增强法拉第屏蔽结构及感应耦合等离子体源

摘要

一种磁增强法拉第屏蔽结构及感应耦合等离子体源，磁增强法拉第屏蔽结构包括内层和套设于内层外侧的外层，内层和外层之间形成容置空间，容置空间内设有磁性件。磁增强法拉第屏蔽结构可以通过内层和外层共同形成的屏蔽层减弱感应耦合线圈电压导致的介质窗溅射和化学腐蚀，并可以通过磁性件补偿屏蔽层导致的感应耦合线圈功率耦合效率降低。