一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法

摘要

本发明公开一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法，解决现有聚酰亚胺加工方法制作成本较高、工作环境难以实现等问题。本发明的制备方法具体包括以下步骤：(1)在衬底模具表面涂覆聚酰亚胺前驱液，并低温烘烤至凝胶状态；(2)在聚酰亚胺凝胶体表面叠印压印模具，并压印升温使所述聚酰亚胺凝胶体半固化；(3)剥离压印模具，得到半固态的聚酰亚胺结构，并烘烤至完全亚胺化；(4)剥离衬底模具，得到双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件。本发明利用涂胶、压印和梯度升温方法即可在聚酰亚胺薄膜两面同时获得微纳结构，方法简单快捷、普适性强，制备过程效率高、成本低，可用于制备复合功能薄膜光学器件。