法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-22
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N3/00 申请公布日:20130123 申请日:20121012
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-04-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N3/00 申请日:20121012
实质审查的生效
2013-01-23
公开
公开
机译: 在集成电路之间的切缝区域中提供一种测试系统的测试系统,该测试系统以晶片形式集成在基板上,并且该测试系统用于测量和/或测试系统中测试结构的参数
机译: 测量地震检波器参数的方法和装置
机译: 集成在晶片型衬底上的测试系统以及测量和/或测试系统测试结构参数的方法