公开/公告号CN110571119A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-13
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥晞隆光电有限公司;
申请/专利号CN201910837279.1
申请日2019-09-05
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人张印铎
地址 230088 安徽省合肥市高新区潜水东路7号2-01室
入库时间 2024-02-19 16:35:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20190905
实质审查的生效
2019-12-13
公开
公开
机译: 离子源装置具有离子源,该离子源可沿固定曲线相对于腔室移动,该离子源基本上在水平面内,以能够进入腔室内壁
机译: 具有等离子源的等离子室的设置方法的制造方法,使用该等离子源的等离子蚀刻方法和等离子源
机译: 离子源放电管的改进或与之相关的汞源与放电室分开布置