公开/公告号CN110534490A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-03
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学深圳研究院;
申请/专利号CN201910854962.6
申请日2019-09-10
分类号H01L23/427(20060101);H01L23/367(20060101);H01L21/48(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人朱海临
地址 518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新区虚拟大学园A206
入库时间 2024-02-19 16:29:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/427 申请日:20190910
实质审查的生效
2019-12-03
公开
公开
机译: 一种在硅基体上制造具有多微分间隙的微结构的方法
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