一种含中间层的靶材背板组件中应力的有限元模拟方法

摘要

本发明公开了一种含中间层的靶材背板组件中应力的有限元模拟方法，属于计算机辅助工程领域。该有限元模拟方法采用离散的方法将梯度中间层离散为有限多的多层结构，每一层内的材料性能沿厚度均匀分布，离散层之间材料性能变化。通过改变中间层的厚度和离散的层数可以实现梯度中间层材料性能变化率的变化，从而改变含中间层靶材组件残余应力的分布和大小。本有限元模拟方法可用于含有中间层的靶材组件的设计和制造的研究，可以节省实验成本和缩短产品设计周期。