法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-28
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):A61N5/10 申请公布日:20130227 申请日:20121128
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):A61N5/10 申请日:20121128
实质审查的生效
2013-02-27
公开
公开
机译: 反射型投影曝光面罩,反射型投影曝光面罩以及制造反射型投影曝光面罩的方法
机译: 呼吸道防护面罩的固定装置及具有该固定装置的面罩
机译: 能够防止由于磁力引起的面罩变形的面罩固定装置以及包括该面罩的沉积装置