一种基于脊型铌酸锂单晶薄膜波导集成周期性畴反转结构的频率转换器及其制备

摘要

本发明涉及一种基于脊型铌酸锂单晶薄膜波导集成周期性畴反转结构的频率转换器及其制备，首先在铌酸锂单晶薄膜表面用相同的激光加工参数，制备畴反转区域占空比为0.5的周期结构；然后应用飞秒激光直写或者精密金刚石刀切割技术在铌酸锂单晶薄膜上制备脊型波导，集成在预先加工好的周期性结构上；进而对LNOI的两个X端面进行抛光处理，然后清洗、得到抛光面；最后将半导体激光器与光纤耦合系统、具有周期性畴反转结构的铌酸锂单晶薄膜波导，以及滤光片集成在一起，实现对特定波长激光的频率转换功能。本发明具有转换效率高、光束质量好、寿命长等特点，该产品主要应用于光纤通讯、电子学器件制备、信息存储、红外探测等领域。