一种提取用于透射电子显微镜的待测样品的方法

摘要

本发明公开了一种提取用于透射电子显微镜的待测样品的方法，与现有技术区别在于，考虑到在提取待测样品过程中，可能会由于待测样品没有完全与基体刻蚀分离，导致玻璃针靠近待测样品并推拉待测样品时待测样品会弹出离刻蚀槽较远距离，此时在待测样品的位置附近再开设一刻蚀槽，并对待测样品施力以使待测样品可以落入刻蚀槽中。此时，待测样品的底部仅部分与刻蚀槽接触，再次对待测样品进行提取时，玻璃针在靠近待测样品后，由于玻璃针与待测样品之间的静电力远大于待测样品与刻蚀槽的静电力，玻璃针能轻松提取出待测样品。通过本发明提供的方法，可以提高TEM样品提取的成功率，减少了TEM样品的报废率。