用于半导体检验及计量系统的可扩展及灵活作业分发架构

摘要

本发明揭示用于半导体检查及计量的高带宽、混合处理器计算系统的实时作业分发软件架构。为了满足计算需要，成像处理计算机架构可通过改变CPU及GPU的数量而扩展。使用主节点及一或多个工作者节点来界定所述架构，以针对最大处理量并行运行图像处理作业。所述主节点可接收来自半导体晶片或光罩的输入图像数据。基于所述输入图像数据的作业被分发到所述工作者节点中的一者。每一工作者节点可包含至少一个CPU及至少一个GPU。所述图像处理作业可含有多个任务，且可使用工作者作业管理器来将所述任务中的每一者指派到所述工作者节点中的所述CPU或GPU中的一者以处理图像。