激光产生的等离子体源

摘要

一种用于激光产生的等离子体源的种子激光器模块，该种子激光器模块包括：脉冲激光源，被配置为以脉冲重复率发射源辐射脉冲；子系统，被配置为提供电信号；电光调制器，被耦合到子系统，并且被配置为接收源辐射脉冲并且在电信号的控制下发射整形后的辐射脉冲；以及其中电信号包括与源辐射脉冲同相的处于脉冲重复率的选通脉冲、以及在选通脉冲中的连续选通脉冲之间的一个或多个次级脉冲。