一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法

摘要

本发明实施例公开了一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法，包括用于通过缝隙光源照射试样两侧表面并成像至同一工业相机上的光学成像装置、用于夹持试样并带动试样运动的运动装置，光学成像装置包括用于向试样两侧照射缝隙光的两组照射组件和用于缝隙光成像的成像透镜组件，运动装置包括用于带动试样沿直线运动的X轴滑台以及用于带动试样旋转的旋转台，旋转台设置在X轴滑台上，旋转台上设置有用于夹持试样的试样夹持器，采用光学原理获得待测试样两面狭缝图像的差值，来获取待测试样的最小厚度，快速，高效，其结果可靠，无需对试样进行破坏，且测量的试样最小厚度精准度较高。