蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统

摘要

一种蚀刻时间侦测方法，包括以下步骤：依据配方数据执行蚀刻制程；于蚀刻时间中的判断时间内接收由数组光感测元件所传输的透光率数值；依据配方数据，分别撷取由各组光感测元件所传输的数个透光率数值，以产生相应的数个计算数值；于判断时间内处理计算数值，以产生相应各组光感测元件的数值分布数据；以及比对数值分布数据，以决定一过蚀刻时间。此外，一种蚀刻时间侦测系统亦被提出。