法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/11 申请日:20180410
实质审查的生效
2019-12-17
公开
公开
机译: 过氧化氢水溶液的保护膜形成用组合物
机译: 树脂,包含树脂的正型抗蚀剂组合物,包含树脂的保护膜形成用组合物,使用正型抗蚀剂组合物的图案形成方法的旋转形成方法,以及使用保护膜形成用组合物
机译: 用于光刻抗蚀剂组合物的制造方法,制造抗蚀剂保护膜形成组合物的方法,制造含硅抗蚀剂下层膜形成组合物的方法以及制造有机抗蚀剂下层膜形成组合物的方法。