一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法

摘要

本发明公开了一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法，包括按质量百分比计的如下组分：Re 2～5％，Zr 0.02～0.1％，B 0.05～0.1％，Mg 0.01～0.05％以及余量Ni和不可避免的杂质。其制备方法包括真空熔炼、雾化铸锭、烧结、热等静压、热锻、热轧、斜轧穿孔、退火、机加工等工艺。本发明为旋转管状靶材，不仅提高了材料的利用率，且利用热加工与热处理使得靶材组织细化均匀，质量更高；本发明为整体靶材，气体含量低，纯度高，即使用完也可作为返料回炉，节约成本。