数字全息显微镜及使用其的检查方法和半导体制造方法

摘要

提供了一种能够在高分辨率下精确检查检查对象的同时执行高速检查的低成本数字全息显微镜(DHM)，一种利用DHM的检查方法和一种利用DHM制造半导体装置的方法。DHM包括：光源，其被构造为产生和输出光；分束器，其被构造为使得光入射到检查对象并且输出来自检查对象的反射光；以及检测器，其被构造为检测反射光，其中，当反射光包括干涉光时检测器产生干涉光的全息图，并且其中在从光源至检测器的路径上无透镜。