一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，将两个反射镜沿激光干涉仪的两道测量光束方向呈45°倾斜角度设置；保持第一个反射镜不动，将第二个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作步进运动，激光干涉仪得到测量值，第二个反射镜上的光束测量完成后，将移动的第二反射镜复位；保持第二个反射镜不动，将第一个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作反向步进运动，激光干涉仪得到测量值，将第一组面形变化数值和第二组面形变化数值做平均化处理，计算得到整体面形变化。达到提高对激光干涉仪配套的反射镜组进行面形校准的方法的校准精度，同时降低了成本的目的。