包括用于将辐射施加到靶的辐射发射器的装置和相关方法

摘要

提供了一种用于将辐射施加到靶的装置。所述装置包括：辐射发射器，所述辐射发射器发射峰值发射波长在10nm至1mm的范围内的电磁辐射；以及第一反射器，所述第一反射器在长度方向上延伸并且具有凹横截面。所述第一反射器界定具有周界的空腔区域，并且包括用于所述空腔区域的所述周界的至少50％的内向反射边界。向所述空腔区域提供具有强度分布I和最大强度Imax的辐射。所述空腔区域包括由归一化强度I/Imax大于0.2的所有点界定的聚焦区域。所述聚焦区域的宽度是所述空腔区域的宽度的0.0001倍至0.5倍。