用于使用偏移光束进行颗粒检测的激光传感器模块

摘要

本发明描述了一种激光传感器模块(100)，用于检测流体中尺寸小于20μm、优选小于10μm的颗粒(10)的颗粒密度，其中，所述激光传感器模块(100)包括激光器(111)、检测器(121)和镜(160)，其中，激光器(111)被布置成向镜(160)发射激光束(112)，其中，镜(160)被设置成能动态地重定向激光束(112)，其中，重定向的激光束(112)的方向限定了光轴(51)，其中，检测器(121)被布置成能确定激光器(111)的激光腔内的光波的自混合干涉信号，自混合干涉信号通过激光束(112)的、由颗粒(10)中的至少一个反射的激光产生，其中，激光器(111)和镜(160)之间的几何关系被布置成使得自混合干涉信号转移到较高频率，其中，激光传感器模块(100)被布置成使得静止的颗粒(10)的轨迹与重定向的激光束(112)的垂直于光轴(51)的速度矢量(55)之间的角度α至少是至少2°的阈值角度。本发明还涉及包括这种激光传感器模块(100)的颗粒检测器(200)和包括这种激光传感器模块(100)或颗粒检测器(200)的移动通信装置(190)。本发明还涉及测量小颗粒的颗粒密度的方法。最后，本发明涉及相应的计算机程序产品。