机译:用于使用象限照片探测器进行高效相干光束组合系统的多个光束对多光束的光束指向和光学相位误差的同时检测
Mitsubishi Electr Corp 5-1-1 Ofuna Kamakura Kanagawa 2478501 Japan|Hokkaido Univ Dept Appl Phys Kita Ku Kita 13 Nishi 8 Sapporo Hokkaido 0608628 Japan;
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机译:扫描光束激光干涉光刻系统中光学相位差和基片运动引起的同时误差的实时补偿
机译:二极管光放大器,具有相干光束组合的高功率激光系统输出波的相位控制
机译:光束形成系统具有倍频能力的同时产生多种chi和非un微波波形的光子同时产生
机译:使用相位检测的频率复用多光束光学位置检测器
机译:使用相干光学技术的波分复用及其在相控阵天线波束控制中的应用
机译:使用象限检测器的拉盖尔-高斯光束高精度位置测量方法
机译:单个检测器的多光束相干光束组合