双激光干涉非接触厚度测量仪

摘要

本发明公开了一种使用两个激光干涉仪对被检测物体的两个面进行定位非接触测量物体厚度的仪器，包括干涉仪基座、高低调节系统，激光器、准直镜，PCS分光棱镜、图像传感器CCD，光栅尺，精密交叉导轨、光学探头、偏振片，本发明操作简单，可实时动态的看到检测的数据。