公开/公告号CN110472038A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 恩亿科(北京)数据科技有限公司;
申请/专利号CN201910776783.5
发明设计人 杨晓龙;
申请日2019-08-22
分类号
代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人荣颖佳
地址 100000 北京市海淀区西小口路66号东升科技园·北领地D-1楼1层136A(东升地区)
入库时间 2024-02-19 15:30:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F16/335 申请日:20190822
实质审查的生效
2019-11-19
公开
公开
机译: 信号质量评估装置,信息读写装置,信号质量评估方法,写入条件确定方法,信号质量评估计算机程序,包含信号质量评估计算机程序的计算机可读存储介质
机译: 信号质量评估装置,信息读写装置,信号质量评估方法,写入条件确定方法,信号质量评估计算机程序,包含信号质量评估计算机程序的计算机可读存储介质
机译: 膜厚评估方法,膜厚评估装置,半导体制造装置,半导体装置以及用于使计算机实现膜厚评估功能的计算机可读存储介质记录程序