基于氢化非晶硅超表面的超高分辨率彩色滤光片及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及超高分辨率彩色滤光片技术领域，尤其涉及基于氢化非晶硅超表面的超高分辨率彩色滤光片及其制备方法和应用。包括：透明衬底、介质超表面和透明覆盖层；其中，所述介质超表面为纳米柱结构的氢化非晶硅，其呈阵列式结构分布在透明衬底表面；所述透明覆盖层覆盖在介质超表面上，从而将介质超表面密封在透明覆盖层中。本发明的彩色滤光片能同时工作在透射和反射模式下，显著提高光利用效率；同时，通过简单调整超表面中单个亚波长结构的结构参数，还能够实现全彩色超高分辨率彩色打印。