一种基于石墨烯纳米条波导耦合谐振腔的逻辑与门器件

摘要

本发明涉及一种基于石墨烯纳米条波导耦合谐振腔的逻辑与门器件，包括硅衬底，设置于硅衬底上的蓝宝石层、设置于蓝宝石层表面上的第一石墨烯谐振腔和第二石墨烯谐振腔、与第一石墨烯谐振腔直接耦合的第一石墨烯纳米条波导、与第一石墨烯谐振腔以及第二石墨烯谐振腔直接耦合的第二石墨烯纳米条波导以及与第二石墨烯谐振腔直接耦合的第三石墨烯纳米条波导，第一石墨烯纳米条波导、第二石墨烯纳米条波导以及第三石墨烯纳米条波导沿第一直线依次设置，第一石墨烯谐振腔以及第二石墨烯谐振腔位于第一直线同侧。根据本发明的基于石墨烯纳米条波导耦合谐振腔的结构系统可实现逻辑与门功能，且具有小尺寸、高消光比和超快速的特点。