透射电镜放大倍率的评判方法和校准方法

摘要

本发明涉及一种透射电镜放大倍率的评判方法，包括：提供一单晶硅样品；校准所述透射电镜的第一放大倍率，所述第一放大倍率大于单晶硅晶格分辨倍率；形成位于所述单晶硅样品上的多个小孔，并在所述第一放大倍率下测量所述多个小孔中至少两个小孔的孔间距，记为第一孔间距；在小于所述第一放大倍率的多个放大倍率下，测量各放大倍率中所述多个小孔中至少两个小孔的孔间距，记为第二孔间距；根据所述第一孔间距和所述第二孔间距，计算所述第二孔间距对应的放大倍率的第一准确度；比较所述第一准确度与第一阈值，在所述第一准确度小于所述第一阈值时评判所述第一准确度对应的放大倍率符合要求。