制造曲面上微透镜阵列的方法以及包括由所述方法制成的曲面上微透镜阵列的光学装置

摘要

本发明涉及一种在曲面上制造微透镜阵列的方法以及一种包括由所述方法制成的微透镜阵列的光学装置。所述在曲面上制造微透镜阵列的方法，包括：在光学基材的表面形成一个光滑的凹面，测量凹面的形状，根据凹面的形状设定目标光点阵列，使得目标光点阵列的每个目标光点都定位在凹面上，生成每个目标光点的全息相位，形成目标光点阵列的全息相位集合，将全息相位集合加载至空间光调制器后对飞秒激光进行调制，然后将被调制后的飞秒激光通过多个透镜分别聚焦于所述目标光点阵列的每个目标光点处并对每个目标光点分别进行烧蚀，形成多个烧蚀区，将烧蚀后的光学基材置于氢氟酸溶液中进行腐蚀，直到每个烧蚀区的表面形状变成光滑的凹面为止。