一种应用于高温高速等离子体内部电场分布测量的耐高温电场探针

摘要

本发明属于等离子体测量技术领域，公开了一种应用于高温高速等离子体内部电场分布测量的耐高温电场探针。电场探针，用于接收空间电场信号及高温高速等离子体内部电场信号；支撑固定座，用于固定电场探针的陶瓷介质及同轴接头的安装固定，保护电场探针免受高速流动的等离子体的冲击破坏；同轴接头，用于向电场探针传输信号。本发明提供了应用于高温高速等离子体参数测量的耐高温电场探针，解决了常规探针不能适应高温的特点，探针为共面波导形式，并且探针被耐高温陶瓷材料包覆，从而使得探针具有耐高温性能。同时由于电场探针是蚀刻在介电常数为4.2的介质基板上的，从而也缩小为传统探针尺寸的倍，提高了探针灵敏度等优点。