基于倾斜照明的反射式交叠衍射成像光学系统

摘要

本发明公开了一种基于倾斜照明的反射式交叠衍射成像光学系统，包括激光器、平面反射镜、扩束器、孔径光阑、CCD，电控旋转台和X‑Y平移台，激光器发出光照射到样品表面之后发生反射，CCD接收光源经过反射后的衍射图样。图样采集过程中，利用电控旋转台设置反射角、X‑Y平移台移动待测样品，使光路和样品产生相对位移，保持其它装置的位置不变，每移动一次样品，记录一幅衍射光强图样，从而获得一系列具有重叠区域的衍射图样，根据所获得衍射图样利用相应交叠衍射成像迭代算法，得到被测样品的振幅信息和相位信息。本发明具有适用反射式样品、照明光透明、强吸收特性的短波领域的特点；系统结构简单，对环境稳定性条件要求较低的优点。