法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/00 申请日:20200311
实质审查的生效
2020-06-19
公开
公开
机译: 反射式照明光学系统,特别是通过将散焦的PBS(偏光分束器)放置在基于正方形的扁平形PBS(偏光分束器)中以提高照明效率的同时,特别考虑了最小化后焦距(BFL)和光学系统高度
机译: 带有倾斜照明平面的光学系统和照明带有倾斜照明平面的光学系统中样品体积的方法
机译: 具有倾斜的照明平面的光学系统和用于照明倾斜的照明平面光学系统中的样品体积的方法