一种基于“拱形”结构的电容式湿度传感器及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及湿度传感器技术领域，尤其涉及一种基于“拱形”结构的电容式湿度传感器及其制备方法和应用。所述湿度传感器包括：顶部电极、底部电极，其均为“拱形”结构；介质层，所述顶部电极、底部电极上均设置有阵列式纳米锥结构的介质层，且锥尖背向其所在电极的表面；导线，所述顶部电极、底部电极上均设置导线；所述顶部电极、底部电极组装后形成环形结构，且两个电极上的介质层均位于环形结构的内侧。相比于一些现有技术，本发明提出了一种灵敏度高、响应/恢复时间短、可重复性好的高性能电容式湿度传感器及其低成本、工艺简单、形貌可控且可大规模生产的制备方法。