公开/公告号CN110268238A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-20
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社藤仓;
申请/专利号CN201880010713.2
发明设计人 日高辉;
申请日2018-03-13
分类号G01J1/02(20060101);G01J1/42(20060101);G01M11/00(20060101);G01M11/02(20060101);G02B6/42(20060101);H01S3/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王玮;张丰桥
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 15:12:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J1/02 申请日:20180313
实质审查的生效
2019-09-20
公开
公开
机译: 光源的扩散透镜结构,可以调节扩散角,在一个或两个侧面的扩散透镜上形成微图案,以调整光源发出的光的扩散角
机译: 扩散角均衡装置和扩散角均衡光源
机译: 单片偏振控制角扩散器,相关方法和包含控制角扩散器的光刻系统