一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置与方法

摘要

本发明公开了一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置与方法，包括隔振机构本体部分、检测部分及控制部分；所述隔振机构本体部分包括气浮隔振平台，所述气浮隔振平台设置载物平台，所述载物平台与隔振机构连接，所述隔振机构包括X方向隔振机构及Y方向隔振机构，检测部分包括加速度传感器与激光测振仪；控制部分接收相应的信息得到控制信号，驱动APA线性放大器及直线电机伺服放大器，进一步驱动音圈电机及放大型压电促动器，本发明通过融合多传感器信息对两个方向的微振动进行精确检测，并采用对称式并联柔顺机构和APA组合对装置微振动进行抑制，可以实现对精密平台的精准主动隔振的目的。