一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴及其使用方法

摘要

本发明涉及一种用于晶硅粗磨精磨一体机的磨削主轴及其使用方法，属于晶硅加工设备技术领域，包括粗磨主轴机构和精磨主轴机构，所述粗磨主轴机构包括粗磨头组件和与粗磨头组件连接的粗磨主轴组件，所述精磨主轴机构包括精磨头组件和与精磨头组件连接的精磨主轴组件，精磨主轴机构套设在粗磨主轴机构中并与所述驱动组件相连接，用于对晶硅进行粗磨和精磨，可在晶硅的同一位置进行粗磨及精磨加工，精磨加工余量减小，效率极大提高，具有广阔的市场前景。