基于铜锌锡硫/铋铁铬氧的锌黄锡矿-氧化物钙钛矿异质结

摘要

本发明提供一种基于铜锌锡硫/铋铁铬氧材料的锌黄锡矿‑氧化物钙钛矿异质结结构，属于半导体器件技术领域。本发明公开了一种精确制备铜锌锡硫/铋铁铬氧异质结的方法，所述的异质结采用脉冲激光沉积技术原位沉积得到。本发明将铋铁铬氧与铜锌锡硫良好匹配、形成异质结结构，发挥铜锌锡硫材料在载流子传输方面的优势，充分利用铋铁铬氧铁电特性所具有的自发极化机制、使结区电场增强，实现高效的电子‑空穴对分离、减少其复合，最终提高载流子输运效率。本发明所提供的铜锌硒硫/铋铁铬氧异质结的制备工艺精确、可控性强，方法简单且成本低，所得的异质结结构可用于制作相关半导体功能性器件，对无机氧化物钙钛矿的实用化具有重要意义。