公开/公告号CN110349834A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-18
原文格式PDF
申请/专利权人 优志旺电机株式会社;
申请/专利号CN201910257453.5
发明设计人 藤泽繁树;
申请日2019-04-01
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人高培培
地址 日本国东京都千代田区
入库时间 2024-02-19 14:58:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-18
公开
公开
机译: 激光装置,准分子激光装置,光照射装置及曝光装置,光产生方法,准分子激光光产生方法,光照射法,曝光方法及装置制造方法
机译: 准分子灯和准分子光照射装置
机译: 准分子灯和准分子光照射装置