用于光电探测器表面及界面的原位实时表征方法及系统

摘要

本发明揭示了一种用于光电探测器表面及界面的原位实时表征方法及系统。所述原位实时表征方法包括：以激光光源对光电探测器进行辐照和拉曼光谱扫描，以使所述光电探测器处于工作状态，采集拉曼光谱，并对获得的拉曼光谱进行分析处理，实现原位实时监测光电探测器的界面结构及载流子注入或提取的演变过程。所述系统包括：激光光源，用以对光电探测器进行辐照；拉曼光谱采集单元，用以获得工作状态下的光电探测器内部半导体材料的表面及界面结构及组成的演变信息；检测单元；分析处理单元。本发明利用拉曼技术及拉曼显微成像技术，原位探测器件的微观界面及其缺陷、势垒分布，揭示影响器件敏感性的内在原因，从而从微观角度精细调控器件的性能。