自动化边射型雷射双温同步检测分类设备

摘要

一种自动化边射型雷射双温同步检测分类设备，包括：一取料单元、一自动移载单元、一检测单元及一分晶单元。所述取料单元供置放一晶圆，所述晶圆包含有复数边射型的晶粒；所述自动移载单元包含有一本体、一第一取物机构、一第二取物机构及一第三取物机构，所述第一取物机构、第二取物机构及第三取物机构可沿一检测方向移动地设于所述本体；所述检测单元包含有沿所述检测方向配置的一第一检测区及一第二检测区，于第一检测区内设有一第一检测机构，于所述第二检测区内设有一第二检测机构、以及一控温装置，所述第二检测区的温度通过所述控温装置而异于所述第一检测区的温度；所述分晶单元供将检验过后的所述复数晶粒依其检验数据进行分类存放。