一个腔体内对多个石墨舟同时镀膜的工艺方法及镀膜装置

摘要

本发明公开了一种在一个腔体内对多个石墨舟同时镀膜的工艺方法及镀膜装置，该工艺方法包括以下步骤：通过机械手将至少两个石墨舟单元放到推舟上；推舟承载石墨舟并将其送入反应炉；反应炉密封并加热；反应炉上的至少两个独立电极单元对各自匹配的石墨舟单元进行独立放电，形成至少两个单独的辉光区；推舟将工艺完成的石墨舟送出反应炉；机械手将石墨舟搬走。本发明的工艺方法通过对每个石墨舟单元独立放电，每个石墨舟单元形成单独的辉光区，使射频控制分开，实现独立控制辉光，便于控制，有效防止硅片与石墨舟卡点打火烧焦而造成的硅片报废。