干燥成膜工艺优化方法、装置及电子设备

摘要

本发明提供了一种干燥成膜工艺优化方法、装置及电子设备。该干燥成膜工艺优化方法，应用于化学气相沉淀工艺中，所述方法包括以下步骤：确认干燥成膜过程中的待调试的多个待选参数；分别调整每一所述待选参数并获取调整该参数后的不良率的变化量；根据所述变化量从所述多个待选参数中选择出多个关键参数；采用实验设计法依次对所述多个关键参数进行多次调整并得到每次调整后的不良率的值；根据多次调整后得到的不良率以及每次调整时每一关键参数调整后的调整值得到每一关键参数的优化值，以使得所述不良率最小。