圆筒体表面检查装置及圆筒体表面检查方法

摘要

本发明的目的在于提供即使圆筒体的表面和检查装置的相对位置变化，也能够稳定且高精度地进行检查的圆筒体表面检查装置。本发明由下述部构成：光照射部(5)，对圆筒体(1)照射光；二维摄像部(6)，配置于对在圆筒体的表面反射的光进行接收的位置；扫描位置确定部(7a)，在二维图像数据(8)中确定与圆筒体的周向对应的第一方向的扫描位置(PA)；时间序列扫描图像生成部(7b)，取出扫描位置(PA)处的与第一方向垂直的第二方向的图像数据，将各图像数据按时间序列顺序在第一方向上排列而生成时间序列扫描图像；及检查部(7c)，检查时间序列扫描图像而对缺陷(4)进行检测。扫描位置确定部(7a)具有：亮度轮廓制作部(71)；亮度峰值位置算出部(72)，算出亮度最高的峰值位置(10)；亮度计测部(73)，计测峰值位置(10)的亮度；亮度下降位置算出部(74)，根据亮度的轮廓(9)，算出成为对所述峰值位置(10)的亮度乘以预先确定的小于1的系数倍值而得到的亮度的位置；以及扫描位置保持部(75)，将算出的所述位置作为扫描位置(PA)保持。