具有稳定电荷倍增增益的EMCCD图像传感器

摘要

本发明题为“具有稳定电荷倍增增益的EMCCD图像传感器”。本发明公开了在电子倍增电荷耦合器件EMCCD图像传感器(14)中，在电荷倍增电极(201)下方的电介质堆叠中的电子陷阱(209)可能导致不期望的增益老化。为了减小增益老化漂移效应，可以形成电介质堆叠(304,305)，该电介质堆叠在电荷倍增电极下方的区中不包括电子陷阱。为了实现这个目的，可以在该电荷倍增电极下方的区中去除该电介质堆叠中的氮化硅(305)。因此，该EMCCD图像传感器可以在其操作寿命期间以稳定电荷载流子倍增增益制造。