公开/公告号CN110168713A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-23
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器有限公司;
申请/专利号CN201780082978.9
申请日2017-11-09
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人张凌苗
地址 美国麻萨诸塞州
入库时间 2024-02-19 14:44:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20171109
实质审查的生效
2019-08-23
公开
公开
机译: 用于产生导电液体的系统和方法,所述导电液体包括去离子水,其中溶解有氨气
机译: 用于产生导电液体的系统和方法,该导电液体包括去离子水,其中溶解有氨气
机译: 用于产生包含溶解有氨气的去离子水的导电液体的系统和方法