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用于产生包括其中溶解有氨气的去离子水的导电液体的系统和方法

摘要

描述了用于将氨气溶解在去离子水中的系统和方法。该系统包括去离子水源和气体混合设备,该气体混合设备包括用于接收氨气的第一入口、用于接收输送气体的第二入口以及用于输出包括氨气和输送气体的气体混合物的混合气体出口。该系统包括接触器,该接触器接收去离子水和气体混合物并产生其中溶解有氨气的去离子水。该系统包括与接触器的至少一个入口流体连通的用于测量去离子水的流速的传感器,以及与传感器通信的控制器。控制器基于由传感器测量的去离子水的流速和预定的电导率设定点来设定氨气的流速。

著录项

  • 公开/公告号CN110168713A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MKS仪器有限公司;

    申请/专利号CN201780082978.9

  • 发明设计人 U.A.布拉默;J.塞维尔特;C.勒蒂克;

    申请日2017-11-09

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人张凌苗

  • 地址 美国麻萨诸塞州

  • 入库时间 2024-02-19 14:44:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20171109

    实质审查的生效

  • 2019-08-23

    公开

    公开

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