公开/公告号CN110361868A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201810251539.2
申请日2018-03-26
分类号G02B27/09(20060101);G02B27/12(20060101);G02B26/10(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
入库时间 2024-02-19 14:35:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/09 申请日:20180326
实质审查的生效
2019-10-22
公开
公开
机译: 激光光束加工设备和激光光束加工方法在抑制反射光束的同时执行激光光束加工
机译: 光束轮廓测量方法,光束轮廓测量设备,激光光束加工方法和激光加工设备
机译: 用于将激光光束调制器调制为空间的液晶装置。