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层间热接合构件、层间热接合方法、层间热接合构件的制造方法

摘要

本发明实现即使在具有凹凸的构件间使用也显示出优异的热阻特性的使用了石墨的层间热接合构件、以及层间热接合构件的制造方法。通过制成包含柔软性或流动性物质(A)和石墨膜(B)的构成的热接合构件,并将石墨膜的厚度设为100nm~15μm的范围、将密度设为1.20~2.26g/cm

著录项

  • 公开/公告号CN110249424A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社钟化;

    申请/专利号CN201880009996.9

  • 发明设计人 村上睦明;多多见笃;立花正满;

    申请日2018-01-30

  • 分类号

  • 代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2024-02-19 14:30:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/36 申请日:20180130

    实质审查的生效

  • 2019-09-17

    公开

    公开

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