一种气体保护下激光诱导反向转移制备导电图案的方法

摘要

本发明属于激光应用及电子印刷技术领域，提供了一种气体保护下激光诱导反向转移制备导电图案的方法。激光穿过透明的基片照射在靶材上，由于激光和靶材之间的相互作用，从靶材表面溅射形成等离子体羽辉，等离子体向透明基片转移发生沉积。采用不同保护气对其进行保护，有效的隔绝了空气环境，保证靶材材料在转移过程中不会发生成分变化，使得玻璃上的导电层具有和靶材高度一致的成分，运用激光诱导反向转移方法在玻璃基片上沉积导电图案。将保护气吹向激光刻蚀区。本发明采用的方法低成本、无需掩膜工艺简单，可以在大气压环境下实现快速、高精细、高质量导电图案。可用于导电薄膜制备和精密电路的制备。