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公开/公告号CN110323140A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 厦门大学;
申请/专利号CN201910296902.7
发明设计人 周伟;袁丁;褚旭阳;曾湘衡;
申请日2019-04-12
分类号
代理机构厦门市首创君合专利事务所有限公司;
代理人张松亭
地址 361000 福建省厦门市思明南路422号
入库时间 2024-02-19 14:12:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/48 申请日:20190412
实质审查的生效
2019-10-11
公开
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